通常情況下，激光光束寬度定義為：光束強(qiáng)度為其峰值的1/e2（13.5％）時(shí)所對(duì)應(yīng)的寬度尺寸。該值是通過(guò)測(cè)定高斯光而得出的，并準(zhǔn)確地描述了在TEM00模型下激光器的光束分布。大部分激光器發(fā)出的基本上都是高斯光，因此這種簡(jiǎn)單定義方法在行業(yè)中普遍接受。
在IS011146標(biāo)準(zhǔn)中，為光束寬度下了一個(gè)更為準(zhǔn)確的定義，該標(biāo)準(zhǔn)定義以功率密度分布的中心二階矩為基礎(chǔ)，光束橫截面上功率密度分布的范圍就是光束寬度。二階矩的點(diǎn)是從原始強(qiáng)度數(shù)據(jù)計(jì)算得出的值，它對(duì)噪聲非常的敏感。還有一種測(cè)量光束寬度的方法，可以對(duì)光束積分計(jì)算出，不會(huì)因?yàn)樵肼晢?wèn)題而影響測(cè)量結(jié)果，這種方法被稱之為刀口法。 
光束寬度測(cè)量技術(shù)
光束輪廓測(cè)量?jī)x器主要有四種類(lèi)型：相機(jī)型光斑分析儀，刀口型光斑分析儀，狹縫掃描型光束質(zhì)量分析儀和針孔掃描型光斑分析儀，每一種都有其各自的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。以色列Duma推出了第五種類(lèi)型，這種新的測(cè)試方法結(jié)合了刀口技術(shù)和相機(jī)系統(tǒng)。不同的測(cè)量方法得出的結(jié)果也略有不同，根據(jù)以往的測(cè)試經(jīng)驗(yàn)，與CMOS技術(shù)相比，使用CCD光束輪廓儀，測(cè)量脈沖激光束的更準(zhǔn)確；使用刀口技術(shù)時(shí)，尤其是與斷層圖像重建程序搭配使用時(shí)，測(cè)量連續(xù)激光束更準(zhǔn)確。